特許
J-GLOBAL ID：200903040036019546
ネガ型感光性組成物
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
横倉 康男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-184858
公開番号（公開出願番号）：特開平5-027421
出願日： 1991年07月24日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：
【要約】【構成】アルカリ可溶性樹脂、該樹脂の架橋剤、光酸発生剤としての有機ハロゲン化合物及び増感剤として下記式で表わされ化合物を含有するネガ型感光性組成物N(A1)(A2)(A3)(A1は置換基を有していてもよいアリール基を、A2及びA3は夫々独立に水素、置換基を有していてもよいアリール基、アラルキル基またはスチリル基を表わす。)【効果】特にi線での露出で高解像度のパターンプロフィールを得ることができ、位相シフト法に適応できるレジストとして有用である。
請求項（抜粋）：
(a)アルカリ可溶性樹脂、(b)酸性条件下で作用するアルカリ可溶性樹脂の架橋剤、(c)光酸発生剤および、(d)増感剤を含有するネガ型感光性組成物において、該光酸発生剤が有機ハロゲン化合物でありかつ該増感剤が下記式[I]の化合物であることを特徴とするネガ型感光性組成物。N(A1)(A2)(A3)・・・[I](式中、A1は置換基を有していてもよいアリール基を表わし、A2及びA3は夫々独立に水素原子、置換基を有していてもよいアリール基、アラルキル基又は、スチリル基を表わす。)
IPC (4件)：
G03F 7/004 503
, G03F 7/029
, G03F 7/038 505
, H01L 21/027
