特許

J-GLOBAL ID：200903040036454790

自動焦点合わせ方法およびその装置

発明者： 上田 貞治
出願人/特許権者： 株式会社トプコン
代理人 (1件)： 田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-098484
公開番号（公開出願番号）：特開平5-275043
出願日： 1992年03月26日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：

【要約】【目的】 電子線を試料に対して良好な焦点状態で観察するようにする。【構成】 電子線ELにより試料面W上を面走査RSさせる工程と、電子線ELの焦点状態を検出するための図形走査CSに移行させ、信号SGを演算してその演算値AVを記憶させる工程と、焦点状態を変化させずに演算値AVの変化が予め設定した設定範囲に入るようにする工程と、電子線ELの焦点状態を段階的に変化するように制御し、演算値AVの最大値MCを求める工程とからなることを特徴とする自動焦点合わせ方法。

請求項（抜粋）：

電子線(EL)により試料面(W)上を面走査(RS)させる工程と、電子線(EL)の焦点状態を検出するための図形走査(CS)に移行させ、信号(SG)を演算してその演算値(AV)を記憶させる工程と、焦点状態を変化させずに演算値(AV)の変化が予め設定した設定範囲に入るようにする工程と、電子線(EL)の焦点状態を段階的に変化するように制御し、演算値(AV)の最大値(MC)を求める工程とからなることを特徴とする自動焦点合わせ方法。

IPC (4件)：

H01J 37/21 ,  G02B 7/28 ,  G02B 7/36 ,  H01J 37/147

FI (2件)：

G02B 7/11 J ,  G02B 7/11 D

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭54-100661
  
• 特開昭61-002251
  
• 特開昭54-048476