特許
J-GLOBAL ID:200903040041384198

テープ研磨装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 明田 莞
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-004341
公開番号(公開出願番号):特開平8-192360
出願日: 1995年01月13日
公開日(公表日): 1996年07月30日
要約:
【要約】【構成】 テープ研磨装置であって、表面に砥粒を均一に分散して固着した研磨テープ7を供給する供給ロール1と、被研磨体8に対して研磨テープ7を所定圧で押し付けるためのコンタクトローラ2と、研磨後の研磨テープ7を巻き取る巻取りロール4とを備えるとともに、前記コンタクトローラ2と巻取りロール4との間に、研磨テープ7の目詰まりを除去するための超音波洗浄機3を配設してなる。【効果】 研磨テープを、1回の使用で廃棄することなく効率的に再利用することができ、使用済みの廃棄テープの量を大幅に低減でき産業廃棄物の量を大幅に減らすことができる。また新規に調達しなければならない研磨テープの保有量も大幅に減らすことができ、保管場所を小さくできる。
請求項(抜粋):
表面に砥粒を均一に分散して固着した研磨テープを供給する供給ロールと、被研磨体に対して研磨テープを所定圧で押し付けるためのコンタクトローラと、研磨後の研磨テープを巻き取る巻取りロールとを備えるとともに、前記コンタクトローラと巻取りロールとの間に、研磨テープの目詰まりを除去するための目詰まり除去手段を配設してなることを特徴とするテープ研磨装置。
IPC (3件):
B24B 55/08 ,  B24B 21/00 ,  B24B 21/18

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