特許
J-GLOBAL ID：200903040042418479
洗浄能力評価方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-095085
公開番号（公開出願番号）：特開平5-291225
出願日： 1992年04月15日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：
【要約】【目的】 ウェハ洗浄装置の洗浄能力を定量的に評価できる方法を得る。【構成】 洗浄前後にウェハ表面を検査し、観測される異物の観測位置と大きさを特定記憶し、洗浄前後の検査で観測された異物の観測位置を順次照合して、各観測位置での異物数と大きさの増減を検査し、下記算出式により洗浄による除去異物、非除去異物、新たな付着異物の定量評価をする。洗浄能 Ac=Pc(異物減少位置数)/Pt(洗浄前全異物数)、非洗浄能An=Pn(異物不変化位置数)/Pt、汚染粒子割合 Ap=Pp(異物増加位置数)/Pt’(洗浄後の全異物数)
請求項（抜粋）：
洗浄前後にウェハ表面を検査し、この検査で観測される複数個の異物の観測位置及び大きさを特定記憶し、上記洗浄前後それぞれの検査で観測された複数個の異物の観測位置を順次照合することにより、上記各観測位置における異物の数及び大きさの増減を検査するとともに、異物減少があった位置の数Pc ,異物変化がなかった位置の数Pn ,異物増加があった位置の数Pp ,洗浄前の全異物数Pt,洗浄後の全異物数Pt’,異物の大きさが大きくなった位置の数Pg ,異物が小さくなった位置の数Pd として、以下に示す算出式に従って上記洗浄前後のウェハ上異物の数及び大きさの増減評価を行い、洗浄能力を評価するようにしたことを特徴とする洗浄能力評価方法。洗浄能 Ac = Pc / Pt × 100 (%)非洗浄能 An = Pn / Pt × 100 (%)汚染粒子割合 Ap = Pp / Pt’× 100 (%)成長能 Ag = Pg / Pn × 100 (%)退化能 Ad = Pd / Pn × 100 (%)
IPC (5件)：
H01L 21/304 341
, G01N 21/84
, G01N 21/88
, G01R 31/26
, H01L 21/66
