特許
J-GLOBAL ID：200903040048700800
有機エレクトロルミネセンス発光装置の大量生産用製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
木下 洋平
, 桑原 英明
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-544802
公開番号（公開出願番号）：特表2005-510015
出願日： 2002年11月15日
公開日（公表日）： 2005年04月14日
要約：
本発明は、有機エレクトロルミネセンス装置の製造装置に関し、特に、少なくとも1つの層の薄膜を有する有機エレクトロルミネセンス装置の製造装置に関する。本発明の有機エレクトロルミネセンス装置の製造装置は、プロセスチェインバーを取付けるための複数の開口部110が形成され、ポンプポートが取付けられた基板搬送チェインバー100と、基板搬送チェインバー100に配置され、複数の開口部において処理された基板を基板搬送チェインバー100内の次の開口部へ搬送する基板搬送手段200と、基板搬送チェインバー100の開口部110にそれぞれ取付けられた複数のチェインバー300からなる。従って、基板は、基板搬送チェインバー内で搬送され、基板洗浄、マスクアラインメント及び洗浄、及び蒸着等の各工程を、複数のチェインバー内で同時に行うことができる。
請求項（抜粋）：
複数の開口部が形成され、ポンプポートが取付けられ、そこに、基板投入、基板洗浄、マスクアラインメント、基板取出し及び複数の蒸着処理が行われるチェインバーが取付けられているリニア基板搬送チェインバーと、
前記基板搬送チェインバーに取付けられ、複数の開口部において処理された基板又は基板アセンブリと、互いに一体化されたマスクを、前記基板搬送チェインバーの次の開口部へ搬送するための基板搬送手段と、
前記基板搬送チェインバーの開口部にそれぞれ取付けられた複数のチェインバーを有してなる、
有機エレクトロルミネセンス装置の大量生産用製造装置。
IPC (3件)：
H05B33/10
, C23C14/56
, H05B33/14
H05B33/10
, C23C14/56 G
, H05B33/14 A
3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 4K029AA24
, 4K029BA62
, 4K029BD00
, 4K029CA01
, 4K029DA01
, 4K029DB14
, 4K029HA01
, 4K029KA01
