特許
J-GLOBAL ID：200903040056594695
加圧浮上分離法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
生形 元重 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-189369
公開番号（公開出願番号）：特開平5-007799
出願日： 1991年07月02日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：
【要約】【目的】 高濃度のオゾン含有ガスからなる微細気泡を簡単なシステムで多量に発生させる。【構成】 酸素発生装置1で発生された酸素をオゾン発生機2に送って高濃度のオゾン含有ガスを発生させる。発生させたオゾン含有ガスを補給水に常圧で過剰に注入し、その補給水を加圧ポンプ4で加圧する。補給水中のオゾンは加圧ポンプ4での攪拌により容易に溶解し、残余の酸素は加圧により溶解する。オゾンおよび酸素の溶解された加圧水は、浮上分離槽5に送られ、急減圧されることにより、高濃度のオゾン含有ガスを微細気泡として遊離させる。
請求項（抜粋）：
酸素を原料として発生させた高濃度のオゾン含有ガスをほぼ常圧の液中に、当該液中の酸素溶解限度を超えて注入し、その液を加圧ポンプにより加圧して浮上分離槽内へ放出することにより、高濃度のオゾン含有ガスからなる微細気泡を発生させることを特徴とする加圧浮上分離法。
IPC (2件)：
B03D 1/02
, H01L 21/304 341
