特許

J-GLOBAL ID：200903040057768956

絶対値型磁気式変位検出装置

発明者： 宮田 俊治
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-342647
公開番号（公開出願番号）：特開平10-170212
出願日： 1996年12月06日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】 絶対値型磁気スケールのスリム化を図るために、磁気スケールの幅の減少及び各磁気スケール間に設ける干渉防止のための領域を狭くしようとすると、各磁気スケール間の磁束の干渉が生じて磁気スケール間の位相差の測定精度が減少し、絶対位置測長範囲が減少してしまうことが避けられなかった。【解決手段】 着磁ピッチの異なる磁気目盛19の脇にそれぞれ高透磁率の物質からなるシールド部材20を配置し、その間に周囲よりも相対的に透磁率の少ない領域を設けたため、磁束は透磁率の高い空間、この場合シールド部材20を通り、各磁気スケール間の干渉の影響を低減することができる。このため、シールド部材20を配置しない場合に比べて、各磁気スケール間の干渉防止のための領域を狭くできるため、スケール全体の幅を細くすることが可能である。

請求項（抜粋）：

スケール部材に着磁ピッチの異なる磁気目盛を少なくとも2つ以上平行に配列形成した磁気スケールと、この磁気スケールと相対移動可能な磁気センサを有する検出部とを備えた装置において、前記磁気スケールは、隣接する磁気目盛の脇に測定方向に沿って平行に周囲よりも高透磁率の物質から成るシールド部材を配置し、対向するシールド部材の間に周囲よりも相対的に透磁率の低い領域が存在するように形成したことを特徴とする絶対値型磁気式変位検出装置。

IPC (3件)：

G01B 7/00 ,  G01D 5/245 ,  G01D 5/245 101

FI (3件)：

G01B 7/00 F ,  G01D 5/245 V ,  G01D 5/245 101 H