特許

J-GLOBAL ID：200903040067778526

バンプ検査方法及び装置

発明者： 加茂下 雅一
出願人/特許権者： 株式会社クレイドル
代理人 (2件)： 荒船 良男 ,  荒船 博司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-159744
公開番号（公開出願番号）：特開2004-006504
出願日： 2002年05月31日
公開日（公表日）： 2004年01月08日
要約：

【課題】バンプの高さや形状を迅速かつ正確に検出できるバンプ検査方法及び装置を提供する。【解決手段】ワークの表面に形成されたバンプを検査するにあたり、前記ワークの表面における設計上でのバンプ位置に当該ワークの表面の法線方向から光を照射し、その反射光のうちの正反射成分又は乱反射成分をマスクを通して得た光情報から実際のバンプ位置を検出し、前記ワークの表面の実際のバンプ位置に斜め方向からスリット光を照射し、その反射光から得た光情報からバンプ高さ又は形状を検出することを特徴とする。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

ワークの表面に形成されたバンプを検査するにあたり、前記ワークの表面における設計上でのバンプ位置に当該ワークの表面の法線方向から光を照射し、その反射光のうちの正反射成分又は乱反射成分をマスクを通して得た光情報から実際のバンプ位置を検出し、前記ワークの表面の実際のバンプ位置に斜め方向からスリット光を照射し、その反射光から得た光情報からバンプ高さ又は形状を検出することを特徴とするバンプ検査方法。

IPC (4件)：

H01L21/60 ,  G01B11/00 ,  G01B11/02 ,  G01B11/24

FI (4件)：

H01L21/92 604T ,  G01B11/00 C ,  G01B11/02 Z ,  G01B11/24 A

Fターム (33件)：

2F065AA03 ,  2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065BB07 ,  2F065CC26 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF02 ,  2F065FF09 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065HH03 ,  2F065HH05 ,  2F065HH12 ,  2F065HH13 ,  2F065HH16 ,  2F065HH17 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL08 ,  2F065LL19 ,  2F065LL30 ,  2F065LL59 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28 ,  2F065RR08 ,  2F065UU07