特許

J-GLOBAL ID：200903040068709242

蒸着重合装置

発明者： 多田 勲 ,  長嶋 直樹 ,  高橋 善和 ,  飯島 正行
出願人/特許権者： 日本真空技術株式会社
代理人 (1件)： 飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-253087
公開番号（公開出願番号）：特開平5-065627
出願日： 1991年09月04日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：

【要約】[目的] 蒸着重合装置における蒸発源容器の蒸発源噴出口にモノマを付着・堆積させず、モノマの蒸発レートを安定化させる。[構成] 原料モノマA、Bが供給された蒸発源容器7の蒸発源貯蔵部14a、14bの外周部と蒸発源噴出口部13a、13bの外周部とに、それぞれ別個に蒸発源加熱ヒータ9a、9bと蒸発源噴出口加熱用ヒータ12a、12bとを設け、蒸発源加熱ヒータ9a、9bの温度よりも蒸発源噴出口加熱用ヒータ12a、12bの温度を若干高くする。これにより蒸発源噴出口部13a、13bの温度が低下するのを防ぎ、蒸発源容器7a、7b全体の温度がそれぞれ一定化するので、蒸発源噴出口13a、13bにモノマが付着・堆積することなくモノマA、Bの蒸発速度及び蒸発レートが常に安定化する。

請求項（抜粋）：

真空中における蒸発源容器に供給された原料モノマを加熱手段により蒸発させる蒸着重合装置において、前記加熱手段は前記蒸発源容器の蒸発源貯蔵部に設けた第1加熱手段と、前記蒸発源噴出口部に設けた第2加熱手段とからなり、前記第2加熱手段の加熱温度は前記第1加熱手段の加熱温度より若干高く設定されていることを特徴とする蒸着重合装置。

IPC (2件)：

C23C 14/24 ,  C23C 14/12

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭55-141564
  
• 特公昭60-015698
  
• 特開昭63-277752