凍結により試料片を固定するための方法および該方法を実施するための装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：村田幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-185590
公開番号（公開出願番号）：特開平6-039666
出願日： 1993年06月29日
公開日（公表日）： 1994年02月15日
要約：

【要約】【目的】凍結による固定方法において、凍結時間を短くし、従来手間がかかっていた製造プロセス時間を短縮する。【構成】予め不凍液のフィルムを付着させた銅プレート4上の凍結バイス1に凍結することにより、良好な熱伝導性を有する補助支持体8、例えば、アルミニウム製の補助支持体上に機械加工される試料片9を固定する。補助支持体8は、減圧ポンプ7により、磁気により、または、何らかの機械的締結により凍結バイス上に固定される。本方法は、機械加工される試料片を凍結バイスから取り外すのに必要とされた凍結解除操作および凍結解除時間を削減することを可能とする。補助支持体8は、試料片が凍結により保持される移動パレットとして使用することができる。

請求項（抜粋）：

試料片を機械加工するために凍結により支持体上に固定するための方法であって、該方法に従い、前記固定する支持体または試料片を予め液体で湿潤させておき、前記支持体を液体の凍結温度以下に冷却し、前記液体の凍結により前記試料片を前記支持体に接着する方法において、主支持体または該主支持体と接触する補助支持体の1つの面に上に不凍液のフィルムを敷くことにより熱伝導性の補助支持体を先ず主支持体に固定し、主支持体を冷却することにより機械加工する1つまたは1つ以上の試料片を凍結により補助支持体上に固定することを特徴とする方法。

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