特許

J-GLOBAL ID：200903040074206147

電子線発生装置

発明者： 大野 幸彦 ,  浦野 晋 ,  青木 辰史
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-123177
公開番号（公開出願番号）：特開2002-318300
出願日： 2001年04月20日
公開日（公表日）： 2002年10月31日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、フィラメント通電用カソード電源を用いなくてもビーム電流を得ることができ、また、ビーム電流の空間的均一性を向上させた電子線発生装置を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明による電子線発生装置は、大面積の電子線照射を行うための長尺状のカソードと、前記カソードと対向するように設けられたアノードと、前記カソードから前記アノードに向かう方向に熱電子を加速させるための加速用電源とを備える電子線発生装置において、熱電子を発生させるための電界放出材料を前記長尺状カソードの電子放出面に一様に配設した構成である。

請求項（抜粋）：

大面積の電子線照射を行うための長尺状のカソードと、前記カソードと対向するように設けられたアノードと、前記カソードから前記アノードに向かう方向に熱電子を加速させるための加速用電源とを備える電子線発生装置において、熱電子を発生させるための電界放出材料を前記長尺状カソードの電子放出面に一様に配設したことを特徴とする電子線発生装置。

IPC (3件)：

G21K 5/04 ,  B01J 19/08 ,  H01J 37/06

FI (3件)：

G21K 5/04 F ,  B01J 19/08 C ,  H01J 37/06 Z

Fターム (11件)：

4G075AA30 ,  4G075AA37 ,  4G075AA42 ,  4G075CA39 ,  4G075DA02 ,  4G075EC21 ,  4G075FA02 ,  4G075FB03 ,  4G075FC11 ,  5C030BB03 ,  5C030BB17