特許

J-GLOBAL ID：200903040077906387

液体吐出装置

発明者： 湯浅 研史
出願人/特許権者： 株式会社湯浅製作所
代理人 (1件)： 笹島 富二雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-075721
公開番号（公開出願番号）：特開平10-270336
出願日： 1997年03月27日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】 対象物の表面全体に均一に液体を供給する。【解決手段】液体を所定方向に吐出する吐出孔10を水平方向に所定間隔で複数設けたノズル部材2と、この複数の吐出孔10から吐出された液体を受けて、これを下方に配置された対象物としてのウェハ101 の表面に導く板状部材3とを設ける。隣り合う吐出孔10から吐出された液体を、板状部材3の板面で膜状にして相互に重ね合わせて均一にして、板状部材3の下端部からウェハ101 の表面に供給する。

請求項（抜粋）：

対象物の表面に液体を吐出する液体吐出装置であって、液体を所定方向に吐出する吐出孔を有し、水平方向に所定間隔で列設された複数の吐出ノズルと、該複数の吐出ノズルから吐出された液体を受けて、該液体を下方に配置された対象物の表面に導くガイド部材と、を含んで構成されることを特徴とする液体吐出装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  B05B 1/02 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/306

FI (4件)：

H01L 21/30 569 C ,  B05B 1/02 ,  H01L 21/304 341 N ,  H01L 21/306 R