レーザ加工装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木祐輔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-000081
公開番号（公開出願番号）：特開平9-182985
出願日： 1996年01月04日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：

【要約】【課題】どのような形状の加工においても加工終点を確実に検出して高精度な加工を行う。【解決手段】ワーク7を加工するレーザ光15の光軸と同軸に光軸を設定したCCDカメラ11を用い、レーザ加工の開始前に、CCDカメラ11の合焦位置をワーク7の加工終点面に合わせておく。レーザ加工中にCCDカメラから得られる画像をモニターし、モニター画像から合焦した加工面の画像が得られたとき、所望の位置まで加工が進んだと判断して加工を終了させる。

請求項（抜粋）：

紫外域のパルスレーザ光を対物レンズを介して被加工物に照射して前記被加工物に所望の加工を行うためのレーザ光学系と、前記対物レンズを介して前記被加工物を観察するための観察光学系と、前記観察光学系の合焦位置を前記被加工物の加工終点位置の近傍に合わせる手段とを備えることを特徴とするレーザ加工装置。

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