特許
J-GLOBAL ID：200903040087014999
薬液処理装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西山 春之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-061476
公開番号（公開出願番号）：特開平5-226309
出願日： 1992年02月17日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：
【要約】【目的】 薬液処理装置において、板状ワークを薬液の槽内で搬送するローラ搬送軸を槽外で支持する軸受部からの薬液の漏出を防止する。【構成】 ローラ搬送軸5の外槽3の外部へ突出した部分を支持する軸受部14の内部に、ローラ搬送軸5の外周面との間に一定の間隙を有するエア注入室16を形成すると共に、このエア注入室16の前後端部には上記ローラ搬送軸5の外周面と回転接触するシール材19a,19bを装着し、上記エア注入室16には圧力エアを注入するようにする。これにより、上記軸受部14から槽内の薬液が漏れ出るのを防止することができ、外槽3の外部に設けられた回転駆動源などの駆動機構を上記薬液で侵すことなく、故障の一因を除去することができる。
請求項（抜粋）：
内部に薬液をためておき搬送されてくる板状ワークを上記薬液内に浸すディップ槽と、このディップ槽の周囲及び底面を囲む外槽と、上記ディップ槽の上部にて上記板状ワークの搬送方向に直交して張設されると共にその両端部は上記外槽の両側壁部まで伸び更に一端部は外槽の外部へ突出して回転駆動源に連結された複数本のローラ搬送軸と、上記外槽の内部にて上記各ローラ搬送軸の上方に間隔をあけて平行にセットされると共に該ローラ搬送軸に従動して回転し且つそのローラ搬送軸の中間部に離間して設けられたローラ部との間に板状ワークを挟んで搬送する上乗せローラ軸とを有する薬液処理装置において、上記ローラ搬送軸の外槽の外部へ突出した部分を支持する軸受部の内部に、ローラ搬送軸の外周面との間に一定の間隙を有するエア注入室を形成すると共に、このエア注入室の前後端部には上記ローラ搬送軸の外周面と回転接触するシール材を装着し、上記エア注入室には圧力エアを注入するようにしたことを特徴とする薬液処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/306
