静電アクチユエータ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田數彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-159653
公開番号（公開出願番号）：特開平5-022959
出願日： 1991年06月04日
公開日（公表日）： 1993年01月29日
要約：

【要約】【目的】低い駆動電圧で高い力密度を発生し得るように改良された静電アクチュエータを提供する。【構成】絶縁性支持体(1)に帯状電極(2)を所定間隔で並べた固定子(3)と絶縁性薄葉体(4)に正負の電荷を付与した移動子(6)とが接するように配置して成る静電アクチュエータにおいて、固定子の少なくとも帯状電極の上部に位置する絶縁性支持体(1)および/または移動子の絶縁性薄葉体(4)を比誘電率が4以上の誘電体材料で構成したことを特徴とする。また、好ましい態様においては、固定子(3)の移動子と接触する側の表面および/または移動子(6)の固定子と接触する側の表面を粗面化し、または、当該表面に潤滑剤層を設ける。

請求項（抜粋）：

絶縁性支持体に帯状電極を所定間隔で並べた固定子と絶縁性薄葉体に正負の電荷を付与した移動子とが接するように配置して成る静電アクチュエータにおいて、固定子の少なくとも帯状電極の上部に位置する絶縁性支持体および/または移動子の絶縁性薄葉体を比誘電率が4以上の誘電体材料で構成したことを特徴とする静電アクチュエータ。

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