特許
J-GLOBAL ID：200903040095743908
全炭酸濃度測定装置及びそれを備えた超純水製造装置並びに超純水の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-263692
公開番号（公開出願番号）：特開平11-101761
出願日： 1997年09月29日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：
【要約】【課題】 純水の炭酸濃度を簡便にかつ精度良く検知することができる全炭酸濃度測定装置及び、この全炭酸濃度測定装置により、非再生型混床式イオン交換装置へのイオン負荷量となる炭酸負荷量を連続的に監視することができ、これによりイオン交換装置の使用期間を予測して安定な運転を行える超純水製造装置並びに超純水の製造方法を提供する。【解決手段】 純水の比抵抗を測定する比抵抗計7A、7Bとその測定値から全炭酸濃度を演算する演算装置9を備える全炭酸濃度測定装置。この全炭酸濃度測定装置により、二次純水製造装置のイオン交換装置4の全炭酸負荷率を求めるようにした超純水製造装置。
請求項（抜粋）：
純水の導電率又は比抵抗を測定する手段と、その測定値から全炭酸濃度を演算する手段とを備えた全炭酸濃度測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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