回折格子

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：岩越重雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-054951
公開番号（公開出願番号）：特開平5-257006
出願日： 1992年03月13日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：

【要約】【目的】軟X線領域においても、熱歪を生じることなく、散乱光の殆どない極めて高精度且つ高効率の回折を行いうる回折格子を提供する。【構成】焼結炭化珪素からなる基体2上に、結晶面がミラー指数表示における(220)面に強配向された炭化珪素の化学蒸着膜3を形成し、この蒸着膜3の表面に、これを5ÅRMS以下に表面研磨した上で、イオンビーム・エッチングによりラミナー型の格子溝4を形成する。

請求項（抜粋）：

焼結炭化珪素からなる基体上に、結晶面がミラー指数表示における(220)面に強配向されており且つ表面のRMS粗さを5Å以下に調整された、炭化珪素の化学蒸着膜を形成し、この蒸着膜の表面にエッチングにより格子溝を刻線したことを特徴とする回折格子。

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