特許

J-GLOBAL ID：200903040098095680

蛍光測定装置

発明者： 中山 佳彦 ,  大楽 英昭 ,  田中 隆一 ,  高須 久幸
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-360697
公開番号（公開出願番号）：特開2002-162350
出願日： 2000年11月22日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：

【要約】【課題】カソードルミネッセンスの集光方法に関し、電子線を照射した試料面側から出射されるカソードルミネッセンスと、電子線を照射した試料面側とは逆の試料面側から出射するカソードルミネッセンスを同時に同等の感度で集光する。【解決手段】試料の上部と下部にカソードルミネッセンスを集光するためのミラーを設置する。2つのミラーの反射面の形状を同一とし、集光率が同等となるように、かつ、カソードルミネッセンスを分離できるように反射面を配置する。

請求項（抜粋）：

電子線を発生させる電子銃と、電子線を収束させ試料上に照射させる手段と、電子線を照射した試料面側から出射する蛍光を集光するミラーと、同じく電子線を照射した試料面側から出射する蛍光を検出する検出器と、電子線を照射した試料面とは逆の試料面側から出射する蛍光を集光するミラーと、同じく電子線を照射した試料面とは逆の試料面側から出射する蛍光を検出する検出器を備え、電子線を照射した試料面側から出射する蛍光と、電子線を照射した試料面とは逆の試料面側から出射する蛍光を同時に集光可能であることを特徴とする蛍光測定装置。

IPC (3件)：

G01N 21/62 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/252

FI (3件)：

G01N 21/62 A ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/252 Z

Fターム (25件)：

2G001AA03 ,  2G001BA28 ,  2G001CA07 ,  2G001CA10 ,  2G001DA01 ,  2G001FA06 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001JA06 ,  2G001JA11 ,  2G001JA16 ,  2G001JA20 ,  2G001LA11 ,  2G043EA01 ,  2G043EA11 ,  2G043FA01 ,  2G043GA03 ,  2G043GB01 ,  2G043HA03 ,  2G043HA05 ,  2G043JA01 ,  2G043LA01 ,  2G043MA04 ,  5C033RR03 ,  5C033RR10