特許
J-GLOBAL ID：200903040105789340
加工用助剤組成物、研磨材組成物、表面加工方法及び基板の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
羽鳥 修 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-012898
公開番号（公開出願番号）：特開平10-204417
出願日： 1997年01月27日
公開日（公表日）： 1998年08月04日
要約：
【要約】【課題】 被加工物の表面、特に脆性材料からなる被加工物の表面に表面欠陥を生じさせること無く高速度で表面加工し得る加工用助剤組成物、研磨材組成物、表面加工方法及び基板の製造方法を提供すること。【解決手段】 少なくとも加工用助剤と水とを含む本発明の加工用助剤組成物は、上記加工用助剤が、重量平均分子量が500〜100万であり、且つ三核体以上の縮合環を有する水溶性又は水分散性の有機化合物からなることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
少なくとも加工用助剤と水とを含む加工用助剤組成物において、上記加工用助剤が、重量平均分子量が500〜100万であり、且つ三核体以上の縮合環を有する水溶性又は水分散性の有機化合物からなることを特徴とする加工用助剤組成物。
IPC (3件)：
C09K 3/14 550
, C09K 3/14
, B24B 37/00
C09K 3/14 550 Z
, C09K 3/14 550 D
, B24B 37/00 H
