特許
J-GLOBAL ID：200903040106359218
圧力センサの特性測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-101136
公開番号（公開出願番号）：特開平10-293079
出願日： 1997年04月18日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：
【要約】【課題】 機械的応力の発生を抑え、高精度かつ高効率で特性測定のできる圧力センサの特性測定装置を提供する。【解決手段】 圧力センサ本体1内のダイアフラム16のたわみに応じて出力される電気信号を外部に取り出すようにした圧力センサの圧力特性を測定するための特性測定装置であって、圧力配管24から分岐された複数の配管端末41を有し、配管端末41の先端部には注射針42を具備する圧力印加治具4と、内部が中空で圧力導入管17に嵌合する嵌合部51を具備するゴム製キャップ5とを有してなり、嵌合部51を圧力導入管17に嵌合させ、注射針42をゴム製キャップ5に差し込み、圧力配管24から配管端末41、注射針42、ゴム製キャップ5及び圧力導入管17を介して圧力センサ本体1に圧力を導入し、導入した圧力により生じたダイアフラム16のたわみに応じて発生した電気信号を外部端子18から取り出すようにした。
請求項（抜粋）：
圧力センサ本体と、該圧力センサ本体内のダイアフラムに圧力を導入する圧力導入管と、前記ダイアフラムのたわみに応じて出力される電気信号を外部に取り出す外部端子とを有してなる圧力センサの圧力特性を測定するための特性測定装置であって、圧力配管から分岐された複数の配管端末を有し、該配管端末の先端部には注射針を具備する圧力印加治具と、内部が中空で前記圧力導入管に嵌合する嵌合部を具備するゴム製キャップとを有してなり、該ゴム製キャップの嵌合部を前記圧力導入管に嵌合させ、前記圧力印加治具の配管端末の注射針を前記ゴム製キャップに差し込み、前記圧力配管から配管端末、注射針、ゴム製キャップ及び圧力導入管を介して圧力センサ本体に圧力を導入し、導入した圧力により生じたダイアフラムのたわみに応じて発生した電気信号を前記外部端子から取り出すようにしたことを特徴とする圧力センサの特性測定装置。
IPC (3件)：
G01L 27/00
, H01L 21/66
, H01L 29/84
G01L 27/00
, H01L 21/66 Z
, H01L 29/84 Z
