特許

J-GLOBAL ID：200903040114377349

金属格子の製作方法

発明者： 小枝 勝 ,  田中 裕次 ,  東南 義貴
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 縣 浩介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-350809
公開番号（公開出願番号）：特開平6-174907
出願日： 1992年12月04日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：

【要約】【目的】 基板上に微細ピッチで金属格子を形成する方法。【構成】 基板上に金属層を形成し、その上にレジスト層を設け、このレジスト層に格子パターンを露光して現像処理を行って、レジストによる格子パターンを形成し、イオンエッチング法により、レジストの格子パターンを上記金属層に転写する。このときエッチングガスとしてCCl2 F2 を用い、これにArを混合する。これによって高い線密度を持った溝深の大きい金属格子を得ることができる。

請求項（抜粋）：

格子を刻設する層を金属とし、金属層の上にフォトレジストのマスクを形成し、エッチングガスとしてCCl2 F2 用いイオンビームエッチングを行うことを特徴とする金属格子の製作方法。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-089332
  
• 特開昭63-232335