特許
J-GLOBAL ID：200903040134004360
プローブ顕微鏡用探触子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-049976
公開番号（公開出願番号）：特開平8-248042
出願日： 1995年03月09日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：
【要約】【目的】 探触子の損傷を防止することができるプローブ顕微鏡用探触子の製造方法を提供すること。【構成】 ウエハー支持体20は凹部20aおよびそれから連続して立ち上がった周縁段部20bで構成される。シリコンウエハー8を、探触子7が凹部20a側になるようにして周縁段部20bに接着剤層21により接着し、これらシリコンウエハー8とウエハー支持体20をエッチング液中に置く。これによりシリコン層4は酸化シリコン層3に達するまでエッチングされる。エッチング終了後、シリコンウエハー8はウエハー支持体20から取り出される。
請求項（抜粋）：
先端に探針を備えたカンチレバーより成る探触子が複数形成されたシリコンウエハーから、このシリコンウエハーをエッチングにより除去して前記各探触子を取り出すプローブ顕微鏡用探触子の製造方法において、周縁段部およびこの周縁段部に連続して形成された凹部を有するウエハー支持体を備え、前記探触子を前記凹部側に向けた状態で前記シリコンウエハーの周縁を接着剤層により前記ウエハー支持体の前記周縁段部に接着して、前記凹部を前記シリコンウエハで密封し、この状態で前記シリコンウエハーを所定の処理液でエッチングすることを特徴とするプローブ顕微鏡用探触子の製造方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 37/00 C
, G01N 37/00 G
, G01R 1/067 A
