特許
J-GLOBAL ID：200903040140961520
コンタクトプローブ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 伸司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-331540
公開番号（公開出願番号）：特開2001-147239
出願日： 1999年11月22日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：
【要約】【課題】 プロービング時の接触痕を極力小さくする。【解決手段】 プローブ案内機構に取り付けるための取付部2と、プロービング対象体に接触するプローブ本体7と、プローブ本体7が固定されるプローブ固定部6と、取付部2に対するプローブ固定部6の上下動を許容可能に取付部2およびプローブ固定部6を連結する連結手段とを備えたコンタクトプローブ装置1において、連結手段は、上下に並設されると共に各々の一端部に取付部2を連結する板バネ8,8を有し上下方向に弾性変形が可能な第1の弾性変形部3と、上下に並設されると共に各々の一端部にプローブ固定部6を連結する板バネ8,8を有し上下方向に弾性変形が可能な第2の弾性変形部5と、第1および第2の弾性変形部3,5を案内方向に直交する平面上において互いに平行配置可能に両弾性変形部3,5における各板バネ8,8の他端部同士を連結する連結部4とを備えいる。
請求項（抜粋）：
プローブ案内機構に取り付けるための取付部と、前記プローブ案内機構の案内に従ってプロービング対象体に先端部が接触するプローブ本体と、当該プローブ本体が固定されるプローブ固定部と、前記取付部に対する前記プローブ固定部の相対的な上下動を許容可能に当該取付部および当該プローブ固定部を相互に連結する連結手段とを備えているコンタクトプローブ装置において、前記連結手段は、上下に並設されると共に各々の一端部に前記取付部をそれぞれ連結する2つの板バネを有し上下方向に弾性変形が可能な第1の弾性変形部と、上下に並設されると共に各々の一端部に前記プローブ固定部をそれぞれ連結する2つの板バネを有し上下方向に弾性変形が可能な第2の弾性変形部と、前記第1の弾性変形部および前記第2の弾性変形部を前記プローブ案内機構の案内方向に直交する平面上において互いに平行配置可能に当該両弾性変形部における前記各板バネの他端部同士を連結する連結部とを備えて構成されていることを特徴とするコンタクトプローブ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/067 G
, H01L 21/66 B
2G011AA02
, 2G011AA09
, 2G011AB01
, 2G011AC14
, 2G011AE01
, 4M106AA08
, 4M106BA01
, 4M106CA16
, 4M106DD06
