超音波洗浄装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-198566
公開番号（公開出願番号）：特開平11-033508
出願日： 1997年07月24日
公開日（公表日）： 1999年02月09日
要約：

【要約】【課題】この発明は気泡が含まれた洗浄液がノズル体に供給されたなら、超音波発振器の駆動を制御する超音波洗浄装置を提供することを目的とする。【解決手段】超音波振動が付与された洗浄液によって被洗浄物を洗浄する超音波洗浄装置において、洗浄液の供給管12と、振動板6およびこの振動板を超音波振動させる振動子8を有し、上記供給管から供給された洗浄液に上記振動板によって超音波振動を付与して噴出させるノズル体1と、上記振動子を駆動して上記振動板を超音波振動させる超音波発振器9と、上記供給管に設けられこの供給管を通じて上記ノズル体に供給される洗浄液に含まれる気泡を検出する気泡検出器15と、この気泡検出器からの検出信号によって上記超音波発振器の駆動を制御する制御装置19とを具備したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

超音波振動が付与された洗浄液によって被洗浄物を洗浄する超音波洗浄装置において、洗浄液の供給管と、振動板およびこの振動板を超音波振動させる振動子を有し、上記供給管から供給された洗浄液に上記振動板によって超音波振動を付与して噴出させるノズル体と、上記振動子を駆動して上記振動板を超音波振動させる超音波発振器と、上記供給管に設けられこの供給管を通じて上記ノズル体に供給される洗浄液に含まれる気泡を検出する気泡検出手段と、この気泡検出手段からの検出信号によって上記超音波発振器の駆動を制御する制御手段とを具備したことを特徴とする超音波洗浄装置。

IPC (3件)：

B08B 3/12 , H01L 21/304 341 , H01L 21/304

FI (4件)：

B08B 3/12 Z , H01L 21/304 341 N , H01L 21/304 341 M , H01L 21/304 341 S

引用特許：

審査官引用 (2件)

超音波洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-285805 出願人：エムケー精工株式会社
特開平4-338282

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