特許
J-GLOBAL ID：200903040144729240
ダイシング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 秀隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-100818
公開番号（公開出願番号）：特開平7-283174
出願日： 1994年04月13日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】【目的】画像認識装置を必要とせずに、ウエーハを高精度にダイシングできるダイシング装置を提供すること。【構成】上面に複数のウエーハを所定間隔をあけて貼り付けたシートを、シート保持治具の粘着層の上に粘着保持する。シート保持治具は硬質板にて平板状に形成され、ウエーハに対応する複数の貫通穴を有する。シート保持治具を支持するダイシングテーブルの上面には、貫通穴と嵌合しかつシート保持治具の厚みとほぼ同一高さの複数の凸部を有する。凸部の上面には真空吸引装置と接続されたシート吸着穴が形成されている。
請求項（抜粋）：
ウエーハを切断してチップに分離するためのダイシング装置において、上面に複数のウエーハを所定間隔をあけて貼り付けたウエーハ固定用シートと、硬質板にて平板状に形成されたベース板を備え、このベース板の上面に上記シートの下面を粘着保持するとともに、上記シートに貼り付けられたウエーハと対応するベース板の部位に、ウエーハとほぼ同等の大きさの複数の貫通穴を有するシート保持治具と、上面に上記貫通穴と嵌合しかつシート保持治具の厚みとほぼ同一高さの複数の凸部を有し、この凸部の上面に真空吸引装置と接続されたシート吸着穴を設けたダイシングテーブルと、を備えたことを特徴とするダイシング装置。
IPC (5件)：
H01L 21/301
, B23Q 3/08
, B24B 41/06
, B65B 31/04
, H01L 21/68
