特許

J-GLOBAL ID：200903040145117787

ICパッケージの真空吸着ハンド

発明者： 庄 司 照 雄
出願人/特許権者： 日立電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 西山 春之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-250092
公開番号（公開出願番号）：特開平9-074128
出願日： 1995年09月05日
公開日（公表日）： 1997年03月18日
要約：

【要約】【課題】 ICパッケージの真空吸着ハンドにおいて、吸着ミスの発生等により搬送治具内にICパッケージが残留した場合にその残留検出をして真空吸着及び移送を停止することを可能とする。【解決手段】 動作アーム5の一部に上下方向に支持された支持軸6を上記動作アーム5の一部に上下方向にスライド可能に支持すると共に、この支持軸6の一部にはICパッケージ9を真空吸着する際の該支持軸6の上下方向の変位量を検出する変位量検出器13を設け、この変位量検出器13が通常時よりも大きな変位量を検出した場合は吸着パッド10によるICパッケージ9の真空吸着を停止させるようにしたものである。これにより、吸着ミスの発生等により搬送治具8内にICパッケージ9が残留した場合にその残留検出をして真空吸着及び移送を停止することができる。

請求項（抜粋）：

X-Y-Zロボットに連結された動作アームと、この動作アームの一部に上下方向に支持された支持軸と、この支持軸の下端に設けられると共に真空配管が接続されてトレイ又は搬送治具の上面でICパッケージを真空吸着する吸着パッドとを有し、上記真空吸着したICパッケージを搬送治具から所定箇所へ移送するICパッケージの真空吸着ハンドにおいて、上記支持軸を動作アームの一部に上下方向にスライド可能に支持すると共に、この支持軸の一部にはICパッケージを真空吸着する際の該支持軸の上下方向の変位量を検出する変位量検出器を設け、この変位量検出器が通常時よりも大きな変位量を検出した場合は上記吸着パッドによるICパッケージの真空吸着を停止させるようにしたことを特徴とするICパッケージの真空吸着ハンド。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65G 47/91 ,  G01R 31/26

FI (4件)：

H01L 21/68 B ,  H01L 21/68 L ,  B65G 47/91 Z ,  G01R 31/26 J