特許
J-GLOBAL ID:200903040150666144

薄膜状試料観察用治具

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 秋元 輝雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-290743
公開番号(公開出願番号):特開2000-121515
出願日: 1998年10月13日
公開日(公表日): 2000年04月28日
要約:
【要約】【課題】汎用測定装置の測定空間に設置できる用具で薄膜状の試料を保持するとともに、薄膜状の試料に引っ張り力を加えることができるようにし、薄膜状の試料に引っ張り力を加えながらの変化を汎用測定装置にて観察、測定する。【解決手段】試料載置板2と、一方向にスライド可能に設けられた可動板3とを組み合わせ、試料載置板2と可動板3とのそれぞれに、薄膜状試料を挟み込む保持部12を設け、可動板3には、該可動板3から試料載置板2側に渡された薄膜状試料の引っ張り方向に位置調整する可動板移動手段10を設けた。
請求項(抜粋):
片面を試料配置面とし一辺側にスライド用空所を有する試料載置板と、前記スライド用空所に前記試料載置板と面一にしてこの試料載置板に対して一方向にスライド可能に設けられた可動板とからなり、前記試料載置板と可動板とのそれぞれに、この可動板から試料載置板側に渡された薄膜状試料を挟み込む保持部が設けられ、かつ、前記可動板には、該可動板から試料載置板側に渡された前記薄膜状試料の引っ張り方向に位置調整する可動板移動手段が設けられていることを特徴とする薄膜状試料観察用治具。
IPC (3件):
G01N 1/28 ,  G01N 3/00 ,  G01N 13/10
FI (3件):
G01N 1/28 W ,  G01N 3/00 P ,  G01N 37/00 V
Fターム (1件):
2G061DA16

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