リードフレームの連続製造装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-174664
公開番号（公開出願番号）：特開平5-326787
出願日： 1992年05月22日
公開日（公表日）： 1993年12月10日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】プレスとエッチングを併用して形状の優れたリードフレームを製造する連続製造装置を提供する。【構成】金属薄板にリードパターンの1部を穿設するプレスと、プレスの下流の通板ラインに設けられ金属薄板に接して従動回転自在でドライフォトレジストフイルムを貼付する貼付装置と、前記貼付装置に対向して金属薄板を挟み設けられた支えロールと、必要に応じて設けられる金属薄板端面へのフォトレジスト塗布装置と、前記ドライフォトレジストフイルムが貼付された金属薄板に残りのリードパターンを焼付ける位置決め装置と、リードパターンを焼付け現像しエッチングする装置とを配設したことを特徴とするリードフレームの連続製造装置である。【効果】偏りやしわ等を生ぜず安定して連続的に貼付でき、以降のエッチング工程で残りのリードパターンが整合性よく形成できる。

請求項（抜粋）：

金属薄板にリードパターンの1部を穿設するプレスと、前記プレスの下流の通板ラインに設けられ金属薄板に接して従動回転自在でドライフォトレジストフイルムを貼付する貼付装置と、前記貼付装置に対向して金属薄板を挟んで設けられた支えロールと、前記ドライフォトレジストフイルムが貼付された金属薄板に残りのリードパターンを焼付ける位置決め装置と、リードパターンを焼付け現像しエッチングする装置とを配設したことを特徴とするリードフレームの連続製造装置。

IPC (4件)：

H01L 23/50 , C23F 1/08 , G03F 7/16 501 , G03F 7/20 521

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭63-148667
特開平4-094157
特開平3-136267

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