特許
J-GLOBAL ID：200903040154445355
薬液塗布装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井出 直孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-197260
公開番号（公開出願番号）：特開平6-039330
出願日： 1992年07月23日
公開日（公表日）： 1994年02月15日
要約：
【要約】【目的】 薬液ノズル洗浄後の薬液ノズル乾燥時に、薬液ノズル先端部に薬液の固形化物が付着しないようにする。【構成】 薬液ノズル1と薬液の吐出を制御する第一の弁3とを接続する薬液配管2の中間に三方切り換え弁8を設け、薬液配管2を分岐して洗浄液置換配管9および第三の弁7を備え、薬液ノズル1と三方切り換え弁8との間の薬液を洗浄液で置換した後に、薬液ノズル1の洗浄および乾燥を行う。
請求項（抜粋）：
薬液を給送する薬液配管に接続され薬液を供給する薬液ノズルと、前記薬液配管への薬液の供給および停止を行う第一の弁と、前記薬液ノズルに洗浄液を供給する洗浄液配管と、この洗浄液配管への洗浄液の供給および停止を行う第二の弁と、前記薬液ノズルに乾燥空気を供給する乾燥空気配管と、この乾燥空気配管への乾燥空気の供給および停止を行う第三の弁とを備えた薬液塗布装置において、前記薬液ノズルと前記第一の弁との間に三方切り換え弁が設けられ、この三方切り換え弁の一つの接続口に洗浄液を供給する洗浄液置換配管が接続され、この洗浄液置換配管への洗浄液の供給および停止を行う第四の弁を備えたことを特徴とする薬液塗布装置。
IPC (3件)：
B05C 5/00 101
, B05B 15/02
, H01L 21/027
