プラズマ処理用装置および方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：谷義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-012136
公開番号（公開出願番号）：特開平9-241827
出願日： 1997年01月27日
公開日（公表日）： 1997年09月16日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】大気及び水蒸気に対する透過性に有効な障壁特性を改善した真空採血管などの医療用プラスチック製品の提供。【解決手段】真空マニホルド装置22は、接続部24,26,28,30,32とゴムグロメットからなるカップリング・ポート34とを有する。接続部はそれぞれアイソレーション・ゲート・バルブ42,44,46,48,50に至る。バルブはそれぞれモノマーガス源52、酸化剤ガス源54、真空ポンプ56、ベント・フィルタ58、および希ガス源60に接続している。さらに、装置は外部電極システム62及びエネルギー源64を備える。射出成形、エンドキャッピングによる押出し、ブロー成形、射出ブロー成形等の管形成方法によって管を製造した後、管の開口部をカップリング・ポートにて真空マニホルド装置に接続し真空とした後、プラズマ蒸着する。

請求項（抜粋）：

プラスチック基板の内壁面に障壁被膜を設ける方法であって、(a)開口端部、閉端部、外側、内側、外壁面、および内壁面を持つプラスチック製品を、前記開口端部が、モノマー供給源、酸化剤供給源、および真空供給源を持つ真空マニホルド装置に接続するように、配置する工程と、(b)前記製品の外壁面を、電極アセンブリに配置する工程と、(c)前記製品の前記内側を排気する工程と、(d)前記製品の前記内側へモノマー・ガスと酸化剤ガスとを加える工程と、(e)前記電極に交流を流す工程と、(f)プラズマを形成するように前記ガスをイオン化して、前記容器の内壁面に障壁被膜を設ける工程と、を有することを特徴とする障壁被膜形成方法。

IPC (3件)：

C23C 14/10 , A61B 5/14 300 , B32B 9/00

FI (3件)：

C23C 14/10 , A61B 5/14 300 B , B32B 9/00 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭53-088676
特開平2-305841
特開昭53-088676

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