特許

J-GLOBAL ID：200903040166495889

電子線照射装置

発明者： 花川 和之
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 田澤 博昭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-057294
公開番号（公開出願番号）：特開平5-223999
出願日： 1992年02月12日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：

【要約】【目的】 電子線の質を劣化させることなく線量を均一化できる電子線照射装置を得る。【構成】 第1の散乱体で散乱された電子線の周辺部分を再度散乱させる、アニュラーホイルタイプの第3の散乱体を第2の散乱体の周囲に配置した。【効果】 第1の散乱体で一旦照射野外に散乱された電子線を第3の散乱体5によって内側に散乱させて、第2の散乱体3で散乱された電子線に重畳することにより、均一化による線量の低下がなくなって、X線の混入率の増加による電子線の質の劣化を防止することができる。

請求項（抜粋）：

高い指向性を有する電子線を発生する電子銃と、前記電子銃にて発生された電子線を散乱させる第1の散乱体と、前記第1の散乱体にて散乱された電子線の中心軸上に配置され、当該第1の散乱体にて散乱された電子線の中心軸部分を散乱させる、セントラルホイルタイプの第2の散乱体と、前記第2の散乱体の周囲に配置され、前記第1の散乱体にて散乱された電子線の周辺部分を散乱させる、アニュラーホイルタイプの第3の散乱体とを備えた電子線照射装置。