デバイス、及びセッティング用調節装置のための装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-099042
公開番号（公開出願番号）：特開2003-031489
出願日： 2002年04月01日
公開日（公表日）： 2003年01月31日
要約：

【要約】【課題】かなり高精度で、互いに関して各々の部材の調整と、設定のためのかなり高精度な調整とを可能とする上記に記載されたタイプの装置を提供する。【解決手段】ベース部(2)と、このベース部(2)から離れて位置されたヘッド部(3)とを具備し、これら2つの部分は、少なくとも1つの調整装置(1)によって互いに接続され、これらの角度、もしくは間隔が、長さ調整装置によって調整もしくはセットされ得、前記調整装置は側部(10,11)を有する、特にμmの範囲、nmの範囲、並びにそれ以下の長さでの、特に半導体リソグラフィに関する光学部材のデバイスを調整するためと、調整装置を設定するための装置。

請求項（抜粋）：

ベース部と、このベース部から離れて位置されたヘッド部とを具備し、これらベース部とヘッド部とは、少なくとも1つの調整装置によって互いに接続され、この調整装置は、複数の側部を有し、これら側部の所定の角度、もしくはこれら側部の間の間隔は、長さ調整装置によって調整もしくはセットされ得る、μmの範囲、nmの範囲、並びにそれ以下の長さでの、デバイス、及びセッティング用調節装置のための装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 , F16B 1/00 , F16B 5/02 , F16M 7/00 , G05G 23/00

FI (6件)：

F16B 1/00 Z , F16B 5/02 P , F16M 7/00 B , G05G 23/00 , H01L 21/30 515 D , H01L 21/30 516 Z

Fターム (11件)：

3J001FA03 , 3J001GA02 , 3J001GB01 , 3J001HA02 , 3J001JB17 , 3J001KA15 , 3J001KB10 , 5F046CB02 , 5F046CB12 , 5F046CB27 , 5F046DA12

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