特許
J-GLOBAL ID:200903040189102108

半導体装置及びその遅延時間測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴木 章夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-261694
公開番号(公開出願番号):特開平7-092235
出願日: 1993年09月25日
公開日(公表日): 1995年04月07日
要約:
【要約】【目的】 半導体装置に設けた被測定回路の遅延時間を、測定装置側における遅延時間の影響を受けることなく高精度に測定することを可能にする。【構成】 遅延時間の測定が行われる被測定回路104を含む半導体装置100に、被測定回路104と入力端を共通にしてその被測定回路をバイパスするテスト回路105と、被測定回路の出力端とテスト回路の出力端とを選択して出力するセレクタ103とを備え、その共通入力端101cにはドライバ1を接続して所定の信号を入力させ、セレクタ103の出力端にはコンパレータ2を接続して出力される信号を検出し、セレクタ103を切り換えながらドライバ1とコンパレータ2とで被測定回路104とテスト回路105における遅延時間を測定し、かつ両遅延時間の差をとって被測定回路の遅延時間を測定する。
請求項(抜粋):
遅延時間の測定が行われる被測定回路を含む半導体装置において、前記被測定回路と入力端を共通にしてその被測定回路をバイパスするテスト回路と、前記被測定回路の出力端とテスト回路の出力端とを選択して出力するセレクタとを備えることを特徴とする半導体装置。
IPC (2件):
G01R 31/28 ,  H01L 21/66
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平4-128669
  • 特開平4-265873

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