特許

J-GLOBAL ID：200903040189743189

インダクタ

発明者： 彦坂 康己
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-003801
公開番号（公開出願番号）：特開平7-211865
出願日： 1994年01月19日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：

【要約】【目的】 インダクタに関し,寸法を縮小し,低コスト化を図る。【構成】 1)基板上に形成されたインダクタであって,隣接する線路が逆方向に電流が流れるように配置された線路 3と,該線路の少なくとも上部を覆う絶縁膜 4と,該絶縁膜を覆って被覆され且つ真空より透磁率の大きい高透磁率材料膜5とを有する,2)基板上に形成されたインダクタであって,隣接する線路が同方向に電流が流れるように配置された線路3Aと,該線路の少なくとも上部を覆う絶縁膜 4と,該絶縁膜を覆って被覆され且つ真空より透磁率の大きい高透磁率材料膜 5とを有し,該高透磁率材料膜が隣接する線路間で分離されている。

請求項（抜粋）：

基板上に形成されたインダクタであって,隣接する線路が逆方向に電流が流れるように配置された線路(3)と,該線路の少なくとも上部を覆う絶縁膜(4)と,該絶縁膜を覆って被覆され且つ真空より透磁率の大きい高透磁率材料膜(5) とを有することを特徴とするインダクタ。

IPC (3件)：

H01L 27/04 ,  H01L 21/822 ,  H01F 17/00