特許

J-GLOBAL ID：200903040195931442

不要塗膜の剥離方法及び装置

発明者： 安藤 今朝男 ,  琴寄 正彦 ,  柏木 俊雄
出願人/特許権者： オリジン電気株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-047547
公開番号（公開出願番号）：特開平6-023314
出願日： 1992年02月03日
公開日（公表日）： 1994年02月01日
要約：

【要約】【目的】 ディスク基板面上の不要な塗膜を,ディスク基板面を汚したり傷つけたりせずに綺麗に剥離する。【構成】 ディスク基板の上面の外周部分及び側面部分に塗布された不要な塗膜を剥離する方法及び装置において,上記ディスク基板を回転させると共に,上記ディスク基板の上面から外方向に向かって10〜45°の角度で剥離液を吐出しながら上記ディスク基板の外方向に向かって剥離範囲を移動させる。

請求項（抜粋）：

ディスク基板の上面の外周部分及び側面部分に塗布された不要な塗膜を剥離する方法において,上記ディスク基板を回転させると共に,上記ディスク基板の上面から外方向に向かって10〜45°の角度で剥離液を吐出しながら上記ディスク基板の外方向に向かって剥離範囲を移動させることを特徴とする不要塗膜の剥離方法。

IPC (4件)：

B05C 11/08 ,  B05D 1/40 ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/027