特許

J-GLOBAL ID：200903040199863352

投影光学系および露光装置

発明者： 松山 知行
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 井上 義雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-148489
公開番号（公開出願番号）：特開2000-353661
出願日： 2000年05月19日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
要約：

【要約】【課題】 半導体製造工程における装置間のディストーションマッチングエラーを減らすことのできる投影光学系およびディストーションの制御方法を提案する。【解決手段】 第1物体の像を第2物体上に投影するための投影光学系に、第1物体に続く第1光学要素としてディフォーマブルミラーを備える。

請求項（抜粋）：

第1物体の像を第2物体上に投影するための投影光学系において、最も前記第1物体側に配置されたディフォーマブルミラーを備えることを特徴とする投影光学系。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G02B 13/16 ,  G02B 13/18 ,  G02B 17/08 ,  G03F 7/20 521

FI (6件)：

H01L 21/30 516 A ,  G02B 13/16 ,  G02B 13/18 ,  G02B 17/08 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D