特許
J-GLOBAL ID：200903040209990366
質量分析装置および分析方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-092195
公開番号（公開出願番号）：特開平8-287864
出願日： 1995年04月18日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：
【要約】【目的】 試料へのイオンビーム照射で発生する中性粒子にレーザビームを照射して光励起イオン化して検出するレーザイオン化中性粒子質量分析装置および分析方法において、検出感度の向上、分析時間の短縮、深さ分解能の向上を図る。【構成】 本発明の装置は、一次イオン源1、パルス電圧電源3、一組の静電偏向板4およびアパーチャ5で構成されるイオンビームパルス化機構6、少なくとも2種類の周波数を高速で可変できる走査電源7、互いに直交する二組の静電偏向板8で構成されるイオンビーム走査機構9、イオンビームレンズ10、試料11、レーザ13、質量分析計15などで構成される。【効果】本発明によれば、微細且つ精度の高い深さ分析が可能なレーザイオン化中性粒子質量分析装置および分析方法が提供される。
請求項（抜粋）：
イオン源と、該イオン源から発生したイオンビームを試料に照射し且つ該イオンビームを該試料表面上で走査するための偏向電極を含む第1のイオン光学系と、該試料を載置するための試料ホルダと、該第1のイオン光学系と該試料表面との間の空間に該試料表面に略平行な光ビームを照射する光源と、該空間よりイオンを取り込む第2のイオン光学系を該空間側に備えた質量分析計と、該試料表面上におけるイオンビームの走査速度を該光源の動作に対応して制御する該第1のイオン光学系の制御装置とからなることを特徴とする質量分析装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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