インジェクションロック型狭帯域化パルスレーザ装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木村高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-330582
公開番号（公開出願番号）：特開2000-156535
出願日： 1998年11月20日
公開日（公表日）： 2000年06月06日
要約：

【要約】【課題】光学素子の寿命を長くすることができ、ロッキング効率およびスペクトル純度が高く、かつ安定したレーザ出力を維持する。【解決手段】露光装置コントローラ31から発振パルス同期信号TRとエネルギー指令値Eとがレーザコントローラ41に入力されると、レーザコントローラ41は、この発振パルス同期信号TRをオシレータ段遅延処理部43と増幅段遅延部51に送出するとともに、電圧指令値V0を増幅段電源45に送出する。オシレータ段遅延処理部43は固有の遅延時間をもってオシレータ段電源44にトリガを加え、オシレータ段10を発振させ、高調波光LAを増幅段20に注入する。遅延時間演算部53は、電圧指令値V0およびセンサ47からの温度データをもとに増幅段電源45の磁気パルス圧縮回路における実遅延時間Treを演算し、基準遅延時間設定部51から送出される時間Tdsから実遅延時間Treを減算した遅延時間τを算出し、増幅段遅延部51は、この遅延時間τ後に、磁気パルス圧縮回路におけるエネルギー転送を開始させてオシレータ段10と増幅段20との同期をとる。

請求項（抜粋）：

狭帯域化した第1のパルスレーザ光を第1のタイミングで発振するオシレータ段と、磁気パルス圧縮回路を用いて第2のタイミングで放電励起し、前記第1のパルスレーザ光を注入光として誘導放出して増幅された第2のパルスレーザ光を出力する増幅段と、前記第1のタイミングと前記第2のタイミングとを適正に同期調整する同期制御手段とを有したインジェクションロック型狭帯域化パルスレーザ装置において、前記同期制御手段は、前記第2のパルスレーザ光を用いて所定の加工処理を行う加工処理装置から送出される発振指示から前記第2のタイミングまでの間の固定遅延時間を前記第1のタイミングに対応して設定する遅延時間設定手段と、レーザ出力に関連するパラメータに基づいて前記磁気パルス圧縮回路のエネルギー転送開始から前記第2のタイミングまでの実遅延時間を予測演算し、前記固定遅延時間から前記実遅延時間を減算した遅延時間を算出する遅延時間演算手段と、前記発振指示から前記遅延時間演算手段が算出した遅延時間経過後に前記磁気パルス圧縮回路のエネルギー転送を開始させるエネルギー転送開始手段とを具備したことを特徴とするインジェクションロック型狭帯域化パルスレーザ装置。

IPC (6件)：

H01S 3/097 , G03F 7/20 502 , H01L 21/027 , H01S 3/0975 , H01S 3/134 , H01S 3/225

FI (6件)：

H01S 3/097 A , G03F 7/20 502 , H01S 3/134 , H01L 21/30 515 B , H01S 3/097 D , H01S 3/223 E

Fターム (19件)：

2H097AA03 , 2H097BB02 , 2H097CA13 , 2H097CA17 , 2H097LA10 , 5F046BA03 , 5F046CA04 , 5F046DA01 , 5F046DB01 , 5F046DC01 , 5F071AA06 , 5F071GG02 , 5F071GG03 , 5F071GG05 , 5F071GG07 , 5F071HH05 , 5F071HH07 , 5F071JJ03 , 5F071JJ05

前のページに戻る