特許

J-GLOBAL ID：200903040217022832

光スイッチ装置

発明者： 石井 仁 ,  田辺 泰之 ,  町田 克之 ,  浦野 正美 ,  島村 俊重
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-297817
公開番号（公開出願番号）：特開2004-133212
出願日： 2002年10月10日
公開日（公表日）： 2004年04月30日
要約：

【課題】集積度の低下や歩留りの低下を抑制した状態で、駆動制御回路などを含む集積回路が形成された半導体基板の上にミラー素子が一体に形成された光スイッチ装置を、従来より容易により製造できるようにする。【解決手段】シリコンからなる半導体基板101を備え、半導体基板101には、複数の素子から構成された集積回路を備え、集積回路の上には、層間絶縁膜102を備える。層間絶縁膜102上には、更に配線層104,層間絶縁膜105を備えている。また、半導体基板101の上には、絶縁膜102,105を介して支持部材120が固定され、支持部材120は、ミラー構造体を支持している。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

集積回路が形成された半導体基板上に絶縁膜を介して固定された支持部材、 この支持部材の上に固定された枠部及び前記枠部の内側に支持された板状の可動部を備えたミラー構造体、 前記可動部の少なくとも一部に設けられた光を反射する反射部、 前記半導体基板上に絶縁膜を介して設けられた前記可動部に対向する固定電極 から構成された光スイッチ素子と、 前記可動部及び前記固定電極に所定の電位を印加して前記光スイッチ素子を駆動する前記集積回路に組み込まれた駆動制御回路と を少なくとも備えたことを特徴とする光スイッチ装置。

IPC (2件)：

G02B26/08 ,  B81B3/00

FI (2件)：

G02B26/08 E ,  B81B3/00

Fターム (5件)：

2H041AA16 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ05 ,  2H041AZ08

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-008812
  
• マイクロメカニカル式の装置のための製造方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平11-533132   出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
• 光偏向器及びこれを用いた表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-324092   出願人：日本ビクター株式会社
• 機能デバイス、その製造方法及び駆動回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-226416   出願人：日本電気株式会社