特許
J-GLOBAL ID:200903040223794243
パルス光走査装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
須崎 正士 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-175201
公開番号(公開出願番号):特開2002-365365
出願日: 2001年06月11日
公開日(公表日): 2002年12月18日
要約:
【要約】【課題】 ポリゴンミラーを用いることなく簡易な構成で反射測定装置におけるパルス光を走査させることができるパルス光走査装置を提供する。【解決手段】 パルス光走査装置1は、光源から照射されるパルス光を反射させる反射鏡5を備える。反射鏡5は、鏡台4に取り付けられており、鏡台4は、X軸X周りおよびY軸Y周りにそれぞれ独立して揺動可能に支持されている。X軸アクチュエータ21を作動することにより、鏡台4がX軸X周りに揺動する。また、Y軸アクチュエータ26を作動することにより、鏡台4がY軸Y周りに揺動する。こうして、反射鏡5の向きを変えて、反射鏡5に反射される反射光を走査させる。
請求項(抜粋):
光源から照射されるパルス光を反射させる反射鏡を備え、前記反射鏡の反射面から前方の測定エリアに向けて出射され、測定エリア内の物体で反射されて戻ってくるパルス光を受光する受光手段とを備える反射測定装置における前記反射鏡の向きを変えて、前記パルス光を走査させるパルス光走査装置において、前記反射鏡を所定の第1軸周りおよび前記第1軸に直交する第2軸周りにそれぞれ独立して揺動可能に支持する支持手段を備え、前記反射鏡を駆動する駆動手段を備えることを特徴とするパルス光走査装置。
IPC (4件):
G01S 17/93
, G01S 7/48
, G02B 26/10
, G02B 26/10 104
FI (4件):
G01S 7/48 A
, G02B 26/10 C
, G02B 26/10 104 Z
, G01S 17/88 A
Fターム (13件):
2H045AB02
, 2H045AB13
, 2H045BA13
, 2H045DA31
, 5J084AA01
, 5J084AC02
, 5J084BA48
, 5J084BB02
, 5J084BB21
, 5J084CA03
, 5J084DA01
, 5J084DA02
, 5J084EA31
引用特許:
審査官引用 (3件)
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距離測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-227148
出願人:ミノルタ株式会社
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特開平3-175390
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特開平3-175390
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