特許

J-GLOBAL ID：200903040223891702

ウェーハチャックテーブル

発明者： 池田 一実 ,  房安 和久
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-260513
公開番号（公開出願番号）：特開2000-084845
出願日： 1998年09月14日
公開日（公表日）： 2000年03月28日
要約：

【要約】【課題】強度を確保しつつイナーシャを小さくすることができるウェーハチャックテーブルの提供。【解決手段】円盤状に形成されたテーブル本体12の裏面にリブ24を放射状に形成する。これにより、テーブル本体12自体を薄く形成しても強度を確保することができる。また、これによりテーブル本体12の外周部の体積を削減することができ、イナーシャを小さくすることができる。

請求項（抜粋）：

ウェーハを吸着保持するウェーハチャックテーブルにおいて、円盤状に形成されたテーブル本体と、前記テーブル本体の表面に形成されたエア吸引溝と、前記テーブル本体の裏面に放射状に形成されたリブと、前記リブに沿って形成されたエア流路と、前記エア流路と前記エア吸引溝とを連通する連通穴と、とからなり、前記エア流路からエアを吸引して前記テーブル本体上に載置されたウェーハを吸着保持することを特徴とするウェーハチャックテーブル。

IPC (2件)：

B24B 41/06 ,  B24B 9/00 601

FI (2件)：

B24B 41/06 L ,  B24B 9/00 601 H

Fターム (11件)：

3C034AA13 ,  3C034AA19 ,  3C034BB34 ,  3C034BB73 ,  3C034DD20 ,  3C049AA03 ,  3C049AB03 ,  3C049AB04 ,  3C049CA01 ,  3C049CA02 ,  3C049CB05