特許
J-GLOBAL ID：200903040225227737
基板保持装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 武彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-088780
公開番号（公開出願番号）：特開平7-297255
出願日： 1994年04月26日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：
【要約】【目的】 上下に間隔を隔てて配置された1対のハンド50,51の間隔変更時における振動を減衰する。【構成】 この基板保持装置14は、1対のハンド50,51と間隔制御機構52と振動減衰機構53とを備えている。1対のハンド50,51は上下に間隔を隔ててかつ上下方向に相対移動可能に配置され、それぞれが基板を保持可能である。間隔制御機構52は、1対のハンド50,51の一端側を保持するとともに、両者の間隔を第1間隔と第1間隔より広い第2間隔とに制御する。振動減衰機構53は、1対のハンド50,51が第1間隔から第2間隔に及び第2間隔から第1間隔にそれぞれ相対移動された際に両者の振動を減衰する。
請求項（抜粋）：
基板搬送時に基板を保持する基板保持装置であって、上下に間隔を隔ててかつ上下方向に相対移動可能に配置され、それぞれが基板を保持可能な1対の基板保持部と、前記1対の基板保持部の一端側を支持するとともに、両者の間隔を第1間隔と前記第1間隔より広い第2間隔とに制御する間隔制御機構と、前記1対の基板保持部が前記第1間隔から第2間隔に及び前記第2間隔から第1間隔にそれぞれ相対移動された際に両者の振動を減衰する振動減衰手段と、を備えた基板保持装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B25J 9/06
, H01L 21/027
, H01L 21/304 341
H01L 21/30 502 J
, H01L 21/30 569 D
