特許

J-GLOBAL ID：200903040232390490

赤外線検知装置

発明者： 山本 保 ,  宮本 義博 ,  山本 功作 ,  河内 哲也 ,  尾▲崎▼ 一男
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-179773
公開番号（公開出願番号）：特開平5-029643
出願日： 1991年07月19日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：

【要約】【目的】 本発明は半導体の超格子を用いた赤外線検知装置に関し、複数の波長領域を検知することを目的とする。【構成】 半導体基板1a上に検出波長の異なる第1の格子層4及び超格子層12をコンタクト層11を介在させて階段状に積層する。そして、超格子層12上にグレーティング5を形成すると共に、階段部分に電極6a〜6cを形成する。

請求項（抜粋）：

半導体基板(1a)上に、エネルギバンドギャップの大きい障壁層(4a)及びエネルギバンドギャップの小さい井戸層(4b)を、周期的に組み合わせて積層した第1の超格子層(4)が、コンタクト層(3)を介して並設されると共に、該それぞれの第1の超格子層(4)上に、赤外線の検出波長をそれぞれ異ならせた超格子層(12)を、電極(6b)が形成されたコンタクト層(11)をそれぞれ介在させて、所定数積層して設け、最上段の該超格子層(12)上に、電極(6c)を有すると共に、入射する該赤外線の透過路を制御する透過層(5)を設けることを特徴とする赤外線検知装置。

IPC (9件)：

H01L 31/10 ,  G01J 1/02 ,  G01J 5/02 ,  G01J 5/60 ,  G02B 5/18 ,  H01L 21/36 ,  H01L 27/146 ,  H01L 29/20 ,  H01L 31/0264

FI (3件)：

H01L 31/10 A ,  H01L 27/14 A ,  H01L 31/08 L

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭56-042386
  
• 特開昭61-204986
  
• 特開平2-189982
  
• 特開平4-313735