特許

J-GLOBAL ID：200903040236767709

X線管及びX線分析装置

発明者： 的場 吉毅 ,  一宮 豊
出願人/特許権者： エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 杉浦 秀幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-196817
公開番号（公開出願番号）：特開2009-031167
出願日： 2007年07月28日
公開日（公表日）： 2009年02月12日
要約：

【課題】 X線管及びX線分析装置において、さらなる小型化及び軽量化を図ることができると共に、より効率的に蛍光X線等を検出して感度を高めること。【解決手段】 内部が真空状態とされX線が透過可能なX線透過膜で形成された窓部1を有した真空筐体2と、真空筐体2内に設置され電子線eを出射する電子線源3と、電子線eが照射されて一次X線を発生すると共に該一次X線を窓部1を介して外部の試料Sに出射可能に窓部1の中央部上に設けられ窓部1よりも外径の小さなターゲットTと、試料Sから放出されて窓部1から入射する蛍光X線及び散乱X線を検出可能に真空筐体2内に配置され該蛍光X線及び散乱X線のエネルギー情報を含む信号を出力するX線検出素子4と、窓部1上の一部に設けられターゲットTから真空筐体2まで延在する金属製の熱・電気伝導部10と、を備えている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

内部が真空状態とされX線が透過可能なX線透過膜で形成された窓部を有した真空筐体と、 前記真空筐体内に設置され電子線を出射する電子線源と、 前記電子線が照射されて一次X線を発生すると共に該一次X線を前記窓部を介して外部の試料に出射可能に前記窓部の中央部上に設けられ前記窓部よりも外径の小さなターゲットと、 前記試料から放出されて前記窓部から入射する蛍光X線及び散乱X線を検出可能に前記真空筐体内に配置され該蛍光X線及び散乱X線のエネルギー情報を含む信号を出力するX線検出素子と、 前記窓部上の一部に設けられ前記ターゲットから前記真空筐体まで延在する金属製の熱・電気伝導部と、を備えていることを特徴とするX線管。

IPC (1件)：

G01N 23/223

FI (1件)：

G01N23/223

Fターム (11件)：

2G001AA01 ,  2G001AA03 ,  2G001BA04 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001GA01 ,  2G001HA01 ,  2G001KA01 ,  2G001MA04 ,  2G001MA05 ,  2G001QA01

引用特許：

出願人引用 (2件)

• X線管
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-279946   出願人：理学電機工業株式会社
• 特許第3062685号公報