特許
J-GLOBAL ID:200903040238249721
光検出素子
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
最上 健治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-185366
公開番号(公開出願番号):特開平10-019665
出願日: 1996年06月27日
公開日(公表日): 1998年01月23日
要約:
【要約】【課題】 フォトダイオードの光束入射面側に、遮光膜と接着剤層を介して分光フィルターを配設してなる光検出素子において、接着剤層中の残留応力を極力低減緩和し、不均一な膜厚でも剥離が生じず、高接着力を有し高透明性を維持しながら高耐久化を図る。【解決手段】 フォトダイオード1上に遮光膜2を設け、フォトダイオード1と遮光膜2上に、可視光域から紫外光域までに渡って良好な透明性を有し、常温近辺の低温度下で硬化でき硬化物がゴム弾性を有し接着耐久性の優れた、フィラーを含まない縮合型シリコーンゴム系なる接着剤層3を介して、フィルター4を接着固定し、光検出素子を構成する。
請求項(抜粋):
フォトダイオードの光束入射面側に、遮光膜と接着剤層を介して分光フィルターを配設してなる光検出素子において、前記接着剤層がフィラーを含まない縮合型シリコーンゴム系接着剤を用いて形成されていることを特徴とする光検出素子。
IPC (4件):
G01J 1/02
, G01J 1/00
, G01J 1/04
, G01N 21/01
FI (4件):
G01J 1/02 A
, G01J 1/00 C
, G01J 1/04 B
, G01N 21/01 D
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