特許
J-GLOBAL ID：200903040243534604
膜厚測定装置及び膜厚測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-311175
公開番号（公開出願番号）：特開2001-133227
出願日： 1999年11月01日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：
【要約】【課題】高精度な膜厚測定を行うことができる膜厚測定装置を提供すること。【解決手段】光源14からの光をウエハWに照射する二分岐光ファイバ16・レンズ13と、ウエハWからの反射光に基づいて反射分光強度分布を測定する分光器20と、膜の積層前のウエハWワークからの反射光に基づいて得られた基準反射光強度分布に対する実測反射光強度分布の比である相対反射光強度分布を求め、かつ、透過光理論から導かれた理論反射光強度分布と相対反射光強度分布と比較することで、膜の膜厚を算出する膜厚算出部23とを具備するようにした。
請求項（抜粋）：
ワークに積層している最上層の膜の膜厚を測定するための膜厚測定装置において、光源からの光を上記ワークに照射する照射部と、上記ワークからの反射光に基づいて反射分光強度分布を測定する反射光強度分布測定部と、上記膜の積層前の上記ワークからの反射光に基づいて得られた基準反射光強度分布に対する上記実測反射光強度分布の比である相対反射光強度分布を求める相対反射光強度分布演算部と、透過光理論から導かれた理論反射光強度分布と上記相対反射光強度分布とを比較することで、上記膜の膜厚を算出する膜厚算出部とを具備していることを特徴とする膜厚測定装置。
Fターム (17件)：
2F065AA30
, 2F065CC19
, 2F065FF42
, 2F065HH03
, 2F065HH13
, 2F065JJ01
, 2F065JJ09
, 2F065JJ25
, 2F065LL02
, 2F065LL04
, 2F065LL67
, 2F065QQ03
, 2F065QQ14
, 2F065QQ23
, 2F065QQ25
, 2F065QQ27
, 2F065QQ38
