特許

J-GLOBAL ID：200903040249993694

観察装置およびその調整方法

発明者： 藤江 耕一 ,  浜島 宗樹
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-315750
公開番号（公開出願番号）：特開2000-149853
出願日： 1998年11月06日
公開日（公表日）： 2000年05月30日
要約：

【要約】【課題】 レンズ系を介して試料を撮像する観察装置に関し、レンズ系の歪曲収差を除去し、鮮明な画像を取得することができる観察装置を提供する。【解決手段】 試料が載置され、移動可能なステージ27と、試料にビームを照射し、二次ビームを検出して画像を生成する検出手段36と、ステージと検出手段との間に配置され、二次ビームを検出手段の検出面に結像させる写像光学系29、32〜35と、アレイ撮像手段(TDICCDセンサ)と、写像光学系を介して、予め用意されたパターンを撮像する二次元撮像手段と、二次元撮像手段により撮像されたパターンの像を用いて、写像光学系の像の歪み量を算出する歪み量算出手段39と、像の歪み量に基づいて、アレイ撮像手段の積算段数を設定する設定手段39、43とを備えて構成される。

請求項（抜粋）：

試料が載置され、移動可能なステージと、前記試料にビームを照射し、該試料の照射領域から発生する二次ビームを検出して前記照射領域の画像を生成する検出手段と、前記ステージと前記検出手段との間に配置され、前記二次ビームを前記検出手段の検出面に結像させる写像光学系と、前記検出面に、複数ライン状に二次元配列された画素を有し、前記検出面に形成された光学像の受光によって生じる各ラインの画素の電荷を、前記光学像の移動のタイミングに合わせて、順次隣接するラインの対応画素へそれぞれ転送し、転送毎に、該電荷と該電荷が転送された画素から生じる電荷とを加算し、終端に相当するラインまでの所定のライン数積算した電荷を、順次出力するアレイ撮像手段と、前記写像光学系を介して、予め用意されたパターンを撮像する二次元撮像手段と、前記二次元撮像手段により撮像された前記パターンの像を用いて、前記写像光学系の像の歪み量を算出する歪み量算出手段と、前記像の歪み量に基づいて、前記所定のライン数を設定する設定手段とを備えたことを特徴とする観察装置。

IPC (3件)：

H01J 37/29 ,  H01J 37/22 501 ,  H01J 37/244

FI (3件)：

H01J 37/29 ,  H01J 37/22 501 Z ,  H01J 37/244

Fターム (6件)：

5C033JJ02 ,  5C033NN02 ,  5C033NP01 ,  5C033NP08 ,  5C033UU04 ,  5C033UU05