インクジェット用ノズルプレートの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高野明近 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-117769
公開番号（公開出願番号）：特開平9-300627
出願日： 1996年05月13日
公開日（公表日）： 1997年11月25日
要約：

【要約】【課題】撥インク性皮膜を、ノズル開口部に侵入させることなくワイピング耐久性のある厚さでインク吐出面に形成する。【解決手段】ネガ型のフォトレジストをディップコートにより全面に塗布(図1(B))、プリベーク後、インク液室面側3から平行紫外光を照射し現像することにより、ノズル吐出面側4のフォトレジストを取り除きポストベークを行う(図1(C))。更に、スピンコートによりノズル吐出面側4に3μm以上の厚さのフォトレジスト5aを塗布する(図1(D))。ノズル吐出面側4の裏面から再び平行紫外光を照射し、現像後ポイストベークしてノズル部塔5bを形成(図1(E))し、これを精密マスキングとして2μm以上の膜厚の撥インク性膜6を形成(図1(F))後、フォトレジスト5を取り除く(図1(G))。

請求項（抜粋）：

ノズルプレートのインク吐出面側に撥インク性皮膜を形成する工程において、前記ノズルプレートのノズル孔をマスキングするために、ネガ型フォトレジストを使用することを特徴とするインクジェット用ノズルプレートの製造方法。

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