特許
J-GLOBAL ID：200903040251537361
圧電式角速度センサの出力調整方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 祥泰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-095543
公開番号（公開出願番号）：特開平7-280572
出願日： 1994年04月08日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】【目的】 オフセットノイズの少ない圧電式角速度センサの出力調整方法及び製造方法の提供。【構成】 角柱状の振動部11を有する圧電式角速度センサ1の出力調整方法である。振動部11の第1側面111には励振用圧電素子30,第2側面112には検知用圧電素子20が接合されており,検知用圧電素子20は圧電体21と電極22とを有する。検知用圧電素子20を振動部11に接合した後,部分的に電極22と圧電体21とを切除し,検知用圧電素子20の出力を調整する。及びこのように出力調整する圧電式角速度センサ1の製造方法。
請求項（抜粋）：
角柱状の振動部を有する圧電式角速度センサの出力調整方法であって,上記振動部の第1の側面には励振用圧電素子が接合され,該第1の側面に直交する第2の側面には検知用圧電素子が接合されており,該検知用圧電素子は,応力に感応する圧電体と,該圧電体の表面に配設された信号取出し用の電極とを有しており,上記検知用圧電素子を上記振動部に接合した後,部分的に電極と電極下の圧電体とを切除することにより,該検知用圧電素子の出力を適性な値に調整することを特徴とする圧電式角速度センサの出力調整方法。
IPC (2件)：
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