特許

J-GLOBAL ID：200903040258554830

音響波フィルタ・パッケージおよび方法

発明者： ゲイリー・カール・ジョンソン ,  デビッド・パトリック・スタンボ ,  スティーブン・リチャード・ヤング ,  マイケル・アンダーソン
出願人/特許権者： モトローラ・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 大貫 進介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-117551
公開番号（公開出願番号）：特開平10-075140
出願日： 1997年04月21日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：

【要約】【課題】 音響波フィルタ(102)をパッケージングする方法を提供する。【解決手段】 本方法では、まず、音響波の変換および伝搬に対応する第1ウエハ(100)を用意する。次に、ウエハを処理してその上に変換器パターン(18,18’)を与え、密閉リング(25)をウエハ上に配置する。密閉リングは、活性領域を完全に封入し、各ボンド・パッド(20)の部分が密閉リングの外側に突き出させる。更に、密閉リングおよび第1ウエハの上に第2ウエハ(40)を配置し、第2ウエハを第1ウエハに密閉する。第1切り口幅を与えるソーを用いて第2ウエハを裁断することにより、変換器パターンのボンディング・パッドの上に位置するダイ2ウエハの部分を除去し、第1切り口幅よりも狭い第2切り口幅を与えるソーを用いて第1ウエハを裁断し、パッケージされたSAWダイ(102)が得られる。

請求項（抜粋）：

音響波フィルタ(102)をパッケージングする方法であって:第1ウエハ(100)を用意する段階であって、音響波変換および伝搬に対応可能な前記第1ウエハ(100)を用意する段階;前記第1ウエハ(100)を処理し、変換器パターン(18,18’)をその上に与える段階;前記第1ウエハ(100)上において、前記変換器パターン(18,18’)の活性領域の周囲に密閉リング(25)を配置する段階であって、前記密閉リング(25)が前記活性領域を完全に封入し、前記変換器パターン(18,18’)の各ボンド・パッド(20)の部分が前記密閉リング(25)の外側に延びるように、前記密閉リング(25)を配置する前記段階;前記密閉リング(25)および前記第1ウエア(100)の上に第2ウエハ(40)を配置する段階;前記第2ウエハ(40)を前記第1ウエハ(100)に密閉する段階;第1切り口幅を与えるソーを用いて前記第2ウエハ(40)を裁断することにより、前記変換器パターン(18,18’)のボンディング・パッド(20)の上に位置する前記第2ウエハ(40)の部分を除去する段階;および前記第1切り口幅よりも狭い第2切り口幅を与えるソーを用いて前記第1ウエハ(100)を裁断し、パッケージされたSAWダイ(102)を与える段階;から成ることを特徴とする方法。